Apparatus and method for generating solid element neutral particle beam

WO2008002046 Art A1 3. Januar 2008

Anmelder: Korea Basic Science Institute 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008002046
Aktenzeichen: EP07747094
Anmeldetag: 25. Juni 2007
Veröffentlichung: 3. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/203

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Korea Basic Science Institute
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Basic Science Institute

Das Korea Basic Science Institute ist eine staatliche südkoreanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Daejeon, die wissenschaftliche Geräte und Analytik für andere Forschungseinrichtungen bereitstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Halbleiter- und Elektronikbauelemente. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2002 bis 2025 ab.

258 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von