Neutral particle beam generating apparatus with increased neutral particle flux

WO2008002089 Art A1 3. Januar 2008

Anmelder: Korea Basic Science Institute 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008002089
Aktenzeichen: EP07768521
Anmeldetag: 28. Juni 2007
Veröffentlichung: 3. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Basic Science Institute
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Basic Science Institute

Das Korea Basic Science Institute ist eine staatliche südkoreanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Daejeon, die wissenschaftliche Geräte und Analytik für andere Forschungseinrichtungen bereitstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Halbleiter- und Elektronikbauelemente. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2002 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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