Methods and apparatus for sensing unconfinement in a plasma processing chamber

WO2008002938 Art A2 3. Januar 2008

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008002938
Aktenzeichen: EP07799054
Anmeldetag: 26. Juni 2007
Veröffentlichung: 3. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01R23/00H05B7/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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