Liquid ejection method and apparatus for temperature control unit
Anmelder: Sumitomo Heavy Industries, Ltd., TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008004352
- Aktenzeichen
- EP07714401
- Anmeldetag
- 16. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 10. Januar 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F25D17/02F25D16/00H01L21/66H01L21/683
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
TOKYO SEIMITSU CO., LTD. - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.
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Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.
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