Precision processing method and precision processing apparatus

WO2008004513 Art A1 10. Januar 2008

Anmelder: Osaka Industrial Promotion Organization, Osaka University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008004513
Aktenzeichen: EP07767995
Anmeldetag: 2. Juli 2007
Veröffentlichung: 10. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Osaka Industrial Promotion Organization
Osaka University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Osaka University

Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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