Plasma abnormal discharge diagnosis method, plasma abnormal discharge diagnosis system, and computer program

WO2008004528 Art A1 10. Januar 2008

Anmelder: Ritsumeikan University, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008004528
Aktenzeichen: EP07768029
Anmeldetag: 2. Juli 2007
Veröffentlichung: 10. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H05H1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ritsumeikan University
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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