Wafer Carrier Docking Station
WO2008005325
Art A2
10. Januar 2008
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008005325
- Aktenzeichen
- EP07835922
- Anmeldetag
- 28. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 10. Januar 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H02J7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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