Fast-Acting Pneumatic Diaphragm Valve

WO2008005838 Art A2 10. Januar 2008

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008005838
Aktenzeichen: EP07812476
Anmeldetag: 29. Juni 2007
Veröffentlichung: 10. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: F16K31/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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