Flüssigkeitsgekühltes Target zur Erzeugung von Elektromagnetischer Strahlung

WO2008006552 Art A1 17. Januar 2008

Anmelder: Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008006552
Aktenzeichen: EP07785982
Anmeldetag: 10. Juli 2007
Veröffentlichung: 17. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01J35/08H01J35/10H01J35/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik

Deutsches Unternehmen der Zeiss-Gruppe, spezialisiert auf industrielle Messtechnik, darunter Koordinatenmessgeräte und Sensoren zur präzisen Vermessung von Bauteilen in Fertigung und Qualitätssicherung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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