Method of controlling contamination of a surface

WO2008007134 Art A2 17. Januar 2008

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008007134
Aktenzeichen: EP07733771
Anmeldetag: 22. Juni 2007
Veröffentlichung: 17. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Edwards Limited
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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