Ion exchange treatment of chemical mechanical polishing slurry

WO2008008711 Art A2 17. Januar 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc., Edwards Vacuum, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008008711
Aktenzeichen: EP07840363
Anmeldetag: 6. Juli 2007
Veröffentlichung: 17. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: B01D15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Edwards Vacuum, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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