Aqueous dispersion for chemical mechanical polishing, method for producing the same, and chemical mechanical polishing method

WO2008010499 Art A1 24. Januar 2008

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008010499
Aktenzeichen: EP07790886
Anmeldetag: 11. Juli 2007
Veröffentlichung: 24. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C09K3/14B24B37/00B24B37/04H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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