Method for straining a semiconductor wafer and a wafer substrate unit used therein

WO2008010771 Art A1 24. Januar 2008

Anmelder: Agency for Science, Technology and Research 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008010771
Aktenzeichen
EP06769686
Anmeldetag
20. Juli 2006
Veröffentlichung
24. Januar 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/324H01L21/336H01L21/70
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Agency for Science, Technology and Research
Land
🇸🇬 Singapur
🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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