Method for straining a semiconductor wafer and a wafer substrate unit used therein
WO2008010771
Art A1
24. Januar 2008
Anmelder: Agency for Science, Technology and Research 🇸🇬
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008010771
- Aktenzeichen
- EP06769686
- Anmeldetag
- 20. Juli 2006
- Veröffentlichung
- 24. Januar 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/324H01L21/336H01L21/70
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Agency for Science, Technology and Research
- Land
- 🇸🇬 Singapur
🇸🇬
Agency for Science, Technology and Research
Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.
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