A Multi-Beam Ion/electron Spectra-Microscope

WO2008010777 Art A1 24. Januar 2008

Anmelder: National University of Singapore 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008010777
Aktenzeichen: EP07794232
Anmeldetag: 20. Juli 2007
Veröffentlichung: 24. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/26G01N23/22H01J49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National University of Singapore
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 National University of Singapore

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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