Beam Ablation Lithography

WO2008010959 Art A2 24. Januar 2008

Anmelder: The Trustees of The University of Pennsylvania 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008010959
Aktenzeichen: EP07836066
Anmeldetag: 13. Juli 2007
Veröffentlichung: 24. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00H01J37/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Trustees of The University of Pennsylvania
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Pennsylvania

Private US-amerikanische Forschungsuniversität in Philadelphia, gegründet 1740. Bekannt für Forschung in Medizin, Biotechnologie und Ingenieurwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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