Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen einer Abweichung einer Tatsächlichen Form von einer Sollform einer Optischen Oberfläche

WO2008012091 Art A2 31. Januar 2008

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008012091
Aktenzeichen: EP07786356
Anmeldetag: 26. Juli 2007
Veröffentlichung: 31. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von