Device for vacuum process

WO2008012956 Art A1 31. Januar 2008

Anmelder: National Institute for Materials Science, The University of Tokyo 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008012956
Aktenzeichen: EP07707904
Anmeldetag: 1. Februar 2007
Veröffentlichung: 31. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/48

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National Institute for Materials Science
The University of Tokyo
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute for Materials Science

Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.

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🇯🇵 University of Tokyo

Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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