Standing wave measuring unit in waveguide and standing wave measuring method, electromagnetic wave using device, plasma processing device, and plasma processing method

WO2008013087 Art A1 31. Januar 2008

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008013087
Aktenzeichen: EP07790931
Anmeldetag: 18. Juli 2007
Veröffentlichung: 31. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01R29/08C23C16/511G01R21/04G01R27/06H01L21/205H01L21/3065H01P1/00H01P1/30H01P3/12H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Tohoku University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

837 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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