Scanning type probe microscope, and its probe relative-position measuring method

WO2008013268 Art A1 31. Januar 2008

Anmelder: National Institute for Materials Science, HORIBA, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008013268
Aktenzeichen
EP07791467
Anmeldetag
27. Juli 2007
Veröffentlichung
31. Januar 2008
Rechtsraum
WO
IPC
G01N13/10G01N13/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
National Institute for Materials Science
HORIBA, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute for Materials Science

Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.

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