Precursors for atomic layer deposition

WO2008013675 Art A2 31. Januar 2008

Anmelder: THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008013675
Aktenzeichen: EP07810363
Anmeldetag: 12. Juli 2007
Veröffentlichung: 31. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/469H01L21/31H01L21/302

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE BOC GROUP, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇬🇧 The BOC Group

The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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