Buried circumferential electrode microca vity plasma device arrays, electrical interconnects, and formation method

WO2008013820 Art A2 31. Januar 2008

Anmelder: THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008013820
Aktenzeichen
EP07836220
Anmeldetag
24. Juli 2007
Veröffentlichung
31. Januar 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01J17/04H01J61/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Board of Trustees of the University of Illinois

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