Bearing device, and turbo-molecular pump

WO2008015849 Art A1 7. Februar 2008

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008015849
Aktenzeichen
EP07767136
Anmeldetag
18. Juni 2007
Veröffentlichung
7. Februar 2008
Rechtsraum
WO
IPC
F16C32/04F04D19/04F04D29/05F04D29/056F16C17/20F16C33/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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