Methods of forming carbon-containing silicon epitaxial layers

WO2008016650 Art A2 7. Februar 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008016650
Aktenzeichen
EP07836407
Anmeldetag
31. Juli 2007
Veröffentlichung
7. Februar 2008
Rechtsraum
WO
IPC
C30B25/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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