Smart Component-Based Management Techniques in A Substrate Processing System

WO2008017050 Art A2 7. Februar 2008

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008017050
Aktenzeichen: EP07840674
Anmeldetag: 2. August 2007
Veröffentlichung: 7. Februar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G06F19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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