Load lock chamber with decoupled slit valve door seal compartment

WO2008019317 Art A2 14. Februar 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008019317
Aktenzeichen: EP07813766
Anmeldetag: 3. August 2007
Veröffentlichung: 14. Februar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: A61M5/178

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Medizintechnik & Gesundheit

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