Systems and methods for fluid flow control in an immersion lithograthy system
WO2008020966
Art A2
21. Februar 2008
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008020966
- Aktenzeichen
- EP07810739
- Anmeldetag
- 25. Juli 2007
- Veröffentlichung
- 21. Februar 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03B27/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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