Fluorierte Polymere für Immersionslithografie
WO2008021291
Art A2
21. Februar 2008
Anmelder: E. I. du Pont de Nemours and Company, E.I. du Pont de Nemours and Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008021291
- Aktenzeichen
- EP07811281
- Anmeldetag
- 14. August 2007
- Veröffentlichung
- 21. Februar 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/004
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- E. I. du Pont de Nemours and Company
E.I. du Pont de Nemours and Company - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
DuPont
US-amerikanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Wilmington, Delaware. DuPont entwickelt Spezialchemikalien, Polymere, Elektronikmaterialien sowie Werkstoffe für Industrie, Bauwesen, Elektronik und Gesundheitswesen.
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Matthews, Derek Peter
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