Single-crystal sic and process for producing the same

WO2008023635 Art A1 28. Februar 2008

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008023635
Aktenzeichen
EP07805943
Anmeldetag
17. August 2007
Veröffentlichung
28. Februar 2008
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/36C01B31/36C30B1/10H01L21/208
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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