Substrate container with outboard kinematic coupling structure

WO2008024388 Art A2 28. Februar 2008

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008024388
Aktenzeichen
EP07811472
Anmeldetag
22. August 2007
Veröffentlichung
28. Februar 2008
Rechtsraum
WO
IPC
B65D45/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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