Apparatus and method for depositing organic thin film

WO2008026865 Art A1 6. März 2008

Anmelder: Jusung Engineering Co. Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008026865
Aktenzeichen
EP07793729
Anmeldetag
28. August 2007
Veröffentlichung
6. März 2008
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Jusung Engineering Co. Ltd.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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