Methods and tools for controlling the removal of material from microfeature workpieces

WO2008027680 Art A1 6. März 2008

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008027680
Aktenzeichen: EP07799936
Anmeldetag: 31. Juli 2007
Veröffentlichung: 6. März 2008
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/04B24B49/12H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Micron Technology, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von