Dopant Activation in Doped Semiconductor Substrates

WO2008027845 Art A2 6. März 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008027845
Aktenzeichen
EP07841418
Anmeldetag
27. August 2007
Veröffentlichung
6. März 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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