Transfer roller and substrate transfer apparatus

WO2008029680 Art A1 13. März 2008

Anmelder: Tokyo Ohka Kogyo CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008029680
Aktenzeichen
EP07806205
Anmeldetag
29. August 2007
Veröffentlichung
13. März 2008
Rechtsraum
WO
IPC
B65G39/04B65G13/04B65G39/12B65G49/06B65G49/07H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Ohka Kogyo CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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