Substrate processing apparatus and substrate processing method

WO2008029848 Art A1 13. März 2008

Anmelder: Kurita Water Industries Ltd., Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008029848
Aktenzeichen: EP07806758
Anmeldetag: 5. September 2007
Veröffentlichung: 13. März 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B08B3/02B08B3/08G02F1/13H01L21/304G11B7/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kurita Water Industries Ltd.
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kurita Water Industries

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.

1.069 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Dainippon Screen Mfg

Dainippon Screen Mfg war ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Halbleiter und Druckvorstufe, ein Vorläufer des heutigen SCREEN-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Nachrichten- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2014 ab.

275 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von