Optical device, exposure apparatus, and method for manufacturing device

WO2008029852 Art A1 13. März 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008029852
Aktenzeichen: EP07806766
Anmeldetag: 5. September 2007
Veröffentlichung: 13. März 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G02B7/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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