Method of mask making to prevent phase edge and overlay shift for chrome-less phase shifting mask

WO2008030950 Art A2 13. März 2008

Anmelder: Sandisk Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008030950
Aktenzeichen: EP07814713
Anmeldetag: 6. September 2007
Veröffentlichung: 13. März 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G03C5/00G03F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sandisk Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 SanDisk

US-amerikanischer Hersteller von Flash-Speicherprodukten wie SSDs, Speicherkarten und USB-Sticks. Das Unternehmen war zeitweise Teil von Western Digital und agiert seit 2025 wieder eigenständig.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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