Alignment chip for scanning electron microscope point aberration measurement

WO2008032416 Art A1 20. März 2008

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008032416
Aktenzeichen: EP06798235
Anmeldetag: 15. September 2006
Veröffentlichung: 20. März 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01N1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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