Vacuum Evaporation Processing Equipment

WO2008032666 Art A1 20. März 2008

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008032666
Aktenzeichen: EP07828214
Anmeldetag: 10. September 2007
Veröffentlichung: 20. März 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24H01F41/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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