Mask blank and method for manufacturing transfer mask

WO2008032819 Art A1 20. März 2008

Anmelder: Hoya Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008032819
Aktenzeichen: EP07807336
Anmeldetag: 14. September 2007
Veröffentlichung: 20. März 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/08G03F7/11

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hoya Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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