Methods of controlling morphology during epitaxial layer formation

WO2008033186 Art A1 20. März 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008033186
Aktenzeichen
EP07797058
Anmeldetag
30. Juli 2007
Veröffentlichung
20. März 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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