Semiconductor processing including etched layer passivation using self-assembled monolayer

WO2008033707 Art A1 20. März 2008

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008033707
Aktenzeichen: EP07841908
Anmeldetag: 5. September 2007
Veröffentlichung: 20. März 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3105H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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