Thin nanodiamond film having n-type conductivity and process for producing the same

WO2008035468 Art A1 27. März 2008

Anmelder: Kyushu University, National University Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008035468
Aktenzeichen
EP07739298
Anmeldetag
22. März 2007
Veröffentlichung
27. März 2008
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/26H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kyushu University, National University Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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