Bubble suppressing flow controller with ultrasonic flow meter

WO2008036108 Art A2 27. März 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008036108
Aktenzeichen
EP06851597
Anmeldetag
1. Dezember 2006
Veröffentlichung
27. März 2008
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/04B24B57/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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