Cmp conditioner and process for producing the same

WO2008038583 Art A1 3. April 2008

Anmelder: Mitsubishi Materials Corp., Toto Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008038583
Aktenzeichen: EP07807706
Anmeldetag: 21. September 2007
Veröffentlichung: 3. April 2008
Rechtsraum: WO
IPC: B24B53/12B24B37/00B24D3/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mitsubishi Materials Corp.
Toto Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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🇯🇵 TOTO

TOTO ist ein japanischer Hersteller von Sanitärkeramik und Badtechnik, bekannt für Toilettensysteme wie Washlet. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Straßen-, Wasser- und Tiefbau sowie Halbleiter- und Werkstofftechnik, ergänzt durch Haushalts- und Konsumgüter. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2026.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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