Assembling and applying nano-electro-mechanical systems

WO2008039372 Art A2 3. April 2008

Anmelder: Carnegie Mellon University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008039372
Aktenzeichen: EP07838648
Anmeldetag: 21. September 2007
Veröffentlichung: 3. April 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carnegie Mellon University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Carnegie Mellon University

Carnegie Mellon University ist eine private US-Universität mit Sitz in Pittsburgh, bekannt für Informatik- und Ingenieurforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Medizintechnik und Mess-/Prüftechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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