Uv-assisted dielectric formation for devices with strained germanium-containing layers

WO2008042528 Art A2 10. April 2008

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008042528
Aktenzeichen: EP07841442
Anmeldetag: 28. August 2007
Veröffentlichung: 10. April 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/00H01L21/336

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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