Method and system for facilitating preventive maintenance of an optical inspection tool

WO2008042572 Art A2 10. April 2008

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008042572
Aktenzeichen: EP07814841
Anmeldetag: 13. September 2007
Veröffentlichung: 10. April 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G03B27/72

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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