Organic ruthenium compound for chemical vapor deposition, and chemical vapor deposition method using the organic ruthenium compound

WO2008044478 Art A1 17. April 2008

Anmelder: TANAKA KIKINZOKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008044478
Aktenzeichen: EP07828551
Anmeldetag: 27. September 2007
Veröffentlichung: 17. April 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C07F15/02C23C16/18H01L21/28H01L21/285C07F15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TANAKA KIKINZOKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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