Electronic element, variable capacitor, micro switch, method for driving micro switch, and mems type electronic element

WO2008047563 Art A1 24. April 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008047563
Aktenzeichen: EP07828635
Anmeldetag: 27. September 2007
Veröffentlichung: 24. April 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01G5/16H01L21/822H01L27/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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