Apparatus and process for aqueous cleaning of diffraction gratings with minimization of cleaning chemicals

WO2008048401 Art A1 24. April 2008

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008048401
Aktenzeichen
EP07838021
Anmeldetag
10. September 2007
Veröffentlichung
24. April 2008
Rechtsraum
WO
IPC
B08B3/00B08B3/04B08B3/08B08B3/10G02B5/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
The Regents of the University of California
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of California

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